| 主权项 |
一种制造互连之方法，包含：提供至少一介电层；形成延伸入该至少一介电层之至少一开口，其中该开口由至少一侧界定；接续地沉积第一金属以及第二金属至少于该开口内，其中该第一金属系选自由钽、钛、钨、钼以及锆所组成之族群，及其中该第二金属系选自由钌、铼、锇以及金所组成之族群；将该第一金属以及该第二金属退火以形成合金底层；以及镀上至少一导电材料以填补该开口并邻接该底层。如申请专利范围第1项之方法，其中沉积该第一金属包含沉积碳化的第一金属。如申请专利范围第1项之方法，其中沉积该第一金属包含沉积氮化的第一金属。 |
