发明名称 基板保持具
摘要
申请公布号 TWD136935 申请公布日期 2010.09.11
申请号 TW098304622 申请日期 2009.09.30
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 中野征二
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本