发明名称 基板检测装置
摘要
申请公布号 TWI330393 申请公布日期 2010.09.11
申请号 TW096109043 申请日期 2007.03.16
申请人 华泰电子股份有限公司 发明人 郑益骐;王政宏;周美惠;林煜斌;苏振平
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人 花瑞铭 高雄市前镇区中山二路7号14楼之1
主权项 一种基板检测装置,用以对一基板进行检测,其中该基板具有一正面以及相对于该正面之一背面,该基板检测装置包含:一底座;两支撑件,由该底座向上延伸并相对设置,界定出一观测开口及一检测开口,其中当该待检测之基板以正面朝上之方式放置于该两支撑件间时,该基板系位于该检测开口中;及一反射镜,设于该两支撑件之间,并可绕一旋转轴旋转,其中当该待检测之基板以正面朝上之方式放置于该两支撑件间时,该反射镜系位于该基板之下方,以将该检测开口中之基板的背面影像反射至该观测开口。如申请专利范围第1项之基板检测装置,其中该两支撑件上另设有一承置架,跨设于该两支撑件间,以于该两支撑件间围构出该检测开口。如申请专利范围第2项之基板检测装置,另包含:一光源,设于该两支撑件之间,用以照亮待检测基板的背面。如申请专利范围第1项之基板检测装置,另包含:一旋钮,设于其中一个支撑件上,用以控制该反射镜绕该旋转轴旋转的角度。如申请专利范围第2项之基板检测装置,其中该承置架系由两相互平行的杆件所构成,各该杆件系跨设于该两支撑件上。如申请专利范围第5项之基板检测装置,其中该两杆件的相对侧的上表面形成有平行各该杆件的凹部。如申请专利范围第5项之基板检测装置,其中该两杆件中的其中一个系可于该等支撑件上移动,以使得该两杆件间的距离得以调整。如申请专利范围第7项之基板检测装置,其中该可移动之杆件系滑设于该等支撑件上。如申请专利范围第8项之基板检测装置,另包含:两旋钮,系分别用以将该可滑动的杆件固定于该两支撑件上。如申请专利范围第5项之基板检测装置,其中各该杆件中央处的上表面形成有通至该等凹部的缺口。如申请专利范围第3项之基板检测装置,其中该两支撑件系为相对设置于该底座之第一片状结构,该基板检测装置另包含两设置于该底座上的第二片状结构,与该等第一片状结构共同将光源圈围住。
地址 高雄市楠梓加工出口区中三街9号