发明名称 探针短路防止结构
摘要
申请公布号 TWI330256 申请公布日期 2010.09.11
申请号 TW096121145 申请日期 2007.06.12
申请人 旺矽科技股份有限公司 发明人 陈志忠
分类号 G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种探针短路防止结构,其系为非导电材质形成之一隔离结构,其系固定于复数个并行排列探针中之至少一探针之结构中,使该隔离结构系凸出于该探针之宽度方向,并使该隔离结构与该探针之相邻探针具一间隔。如申请专利范围第1项所述之探针短路防止结构,其中,该隔离结构系固定于复数个并行排列之探针中每一探针之结构中,且该隔离结构朝相邻探针方向凸出并与相邻探针具一间隔。如申请专利范围第1项所述之探针短路防止结构,其中,该隔离结构系固定于复数个并行排列之探针中每不相邻之探针之结构中,且该隔离结构朝相邻探针方向凸出并与相邻探针具一间隔。如申请专利范围第1、2或3项所述之探针短路防止结构,该隔离结构系使用光微影制程制作。如申请专利范围第1、2或3项所述之探针短路防止结构,该隔离结构系使用雷射加工、热压成形、印刷或蚀刻之制程方法定义一非感光性的材质形成该隔离结构。如申请专利范围第1、2或3项所述之探针短路防止结构,该隔离结构系使用半导体制程制作且与设有该隔离结构之该探针一体成形。如申请专利范围第1、2或3项所述之探针短路防止结构,该探针包含一针体部分以及一接触部。如申请专利范围第7项所述之探针短路防止结构,该隔离结构设于该针体部分。如申请专利范围第7项所述之探针短路防止结构,该隔离结构设于该接触部。如申请专利范围第1或2或3项所述之探针短路防止结构,其中,每一设有隔离结构之该探针结构设有复数个该隔离结构。一种探针短路防止结构,其包含一以非导电材料形成之隔离结构,及复数个并排且相互间隔之探针,其中,该复数个并排且相互间隔之探针作动时,该隔离结构容置于相邻两探针之间,且该隔离结构之宽度略小于该相邻两探针之间隔,使该隔离结构与其相邻之该探针之间相隔一间隙。如申请专利范围第11项所述之探针短路防止结构,该隔离结构设于该相邻两探针之间。如申请专利范围第11项所述之探针短路防止结构,该隔离结构设于该相邻两探针之间隔空间外,当该探针作动时,该隔离结构相对进入该相邻两探针间隔空间内,以隔离两相邻之该探针。如申请专利范围第11或12项所述之探针短路防止结构,该隔离结构系以一光微影制程制作。如申请专利范围第11或12项所述之探针短路防止结构,该隔离结构系使用雷射加工、热压成形、印刷或蚀刻之制程方法定义一非感光性的材质形成该隔离结构。如申请专利范围第11或12项所述之探针短路防止结构,该隔离结构系使用半导体且与设有该隔离结构之该探针一体成形。如申请专利范围第11或12项所述之探针短路防止结构,该复数个并排且相互间隔之探针之一端系均设于一底座,且该隔离结构系设于该底座表面对应各探针间隔位置。如申请专利范围第11或12项所述之探针短路防止结构,该复数个并排且相互间隔之探针之一端系均设于一底座,该底座表面于该探针之自由端对应位置凹设一容槽,且该隔离结构系设于该容槽底部之各探针之间隔的对应位置。如申请专利范围第17项所述之探针短路防止结构,该隔离结构设于该容槽一侧壁于各探针之间隔的对应位置,使该隔离结构之自由端穿入各探针之间隔内。如申请专利范围第16项所述之探针短路防止结构,该复数个并排且相互间隔之探针与该隔离结构系使用半导体制程制作并与该底座一体成形。如申请专利范围第17项所述之探针短路防止结构,该复数个并排且相互间隔之探针与该隔离结构系使用半导体制程制作并与该底座一体成形。如申请专利范围第18项所述之探针短路防止结构,该复数个并排且相互间隔之探针与该隔离结构系使用半导体制程制作并与该底座一体成形。如申请专利范围第18项所述之探针短路防止结构,其中各隔离结构之截面为尖状突出型态。如申请专利范围第17项所述之探针短路防止结构,其中各隔离结构之截面呈长条形。如申请专利范围第18项所述之探针短路防止结构,其中各隔离结构之截面呈长条形。
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