发明名称 FEEDSTOCK SUPPLY UNIT AND VAPOR DEPOSITION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100981474(B1) 申请公布日期 2010.09.10
申请号 KR20087007720 申请日期 2006.12.20
申请人 发明人
分类号 C23C16/448;C23C16/455 主分类号 C23C16/448
代理机构 代理人
主权项
地址