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发明名称 Vacuum chuck and machine with the same
摘要
申请公布号 KR100981748(B1) 申请公布日期 2010.09.10
申请号 KR20080084003 申请日期 2008.08.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/687 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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