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发明名称 Teilchenstrahlgerät mit Ozon-Quelle
摘要
申请公布号 DE602006015768(D1) 申请公布日期 2010.09.09
申请号 DE200660015768T 申请日期 2006.02.23
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FROSIEN, JUERGEN;ELGAR, YACOV
分类号 H01J37/02;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/317 主分类号 H01J37/02
代理机构 代理人
主权项
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