多层金属结构的波导及其制造方法

摘要

提供一种多层金属结构的波导及其制造方法。通过在衬底上应用多个金属层且分别在各个金属层之间形成多个绝缘层，可以通过经过在信号线和地线之间的宽区域均匀地分散电流来最小化导电损耗。

主权项

一种多层金属结构的波导，其中多个金属层堆叠在衬底上且多个绝缘层分别形成在多个金属层之间，该波导包括：至少一条地线；和多条信号线，包括形成于多个金属层的至少一个之上并与至少一条地线分离的第一信号单元，以及具有比第一信号单元的宽度更宽的宽度的第二信号单元，该第二信号单元与该至少一条地线分离，并且位于与第一信号单元的高度不同的高度处。