衍射光学元件、光学系统和光学装置

摘要

一种衍射光学元件包含两个衍射光栅，这两个衍射光栅由不同的材料制成并在它们的光栅表面上相互接触。这些材料满足以下条件，并且第二材料是通过将树脂材料与满足以下条件的微粒材料混合获得的材料：nd1≥1.48，vd1≥40，(-1.665E-07×vd13+5.213E-05×vd12-5.656E-03×vd1+0.675)≤θg，F1≤-1.665E-07×vd13+5.213E-05×vd12-5.656E-03×vd1+0.825)，(-1.687E-07×vd13+5.702E-05×vd12-6.603E-03×vd1+1.400)≤θg，d1≤(-1.687E-07×vd13+5.702E-05×vd12-6.603E-03×vd1+1.580)，nd2≤1.6，vd2≤30，θg，F2≤(-1.665E-07×vd23+5.213E-05×vd22-5.656E-03×vd2+0.675)，θg，d2≤(-1.687E-07×vd23+5.702E-05×vd22-6.603E-03×vd2+1.400)，nd1-nd2＞0，ndb2≥1.70，vdb2≤20。元件在较宽的波长范围上实现特定衍射阶次上的较高的衍射效率。

主权项

一种衍射光学元件，包含：分别由第一材料和第二材料制成的两个衍射光栅，这两个衍射光栅分别具有光栅表面并在光栅表面上相互接触，其中，第一和第二材料满足以下所有的条件，并且第二材料是通过将树脂材料与满足以下所有的条件的微粒材料混合获得的材料：nd1≥1.48vd1≥40       (-1.665E-07×vd13+5.213E-05×vd12-5.656E-03×vd1+0.675)≤θg，F1≤(-1.665E-07×vd13+5.213E-05×vd12-5.656E-03×vd1+0.825)       (-1.687E-07×vd13+5.702E-05×vd12-6.603E-03×vd1+1.400)≤θg，d1≤(-1.687E-07×vd13+5.702E-05×vd12-6.603E-03×vd1+1.580)nd2≤1.6vd2≤30θg，F2≤(-1.665E-07×vd23+5.213E-05×vd22-5.656E-03×vd2+0.675)θg，d2≤(-1.687E-07×vd23+5.702E-05×vd22-6.603E-03×vd2+1.400)nd1-nd2＞0ndb2≥1.70vdb2≤20这里，ng1、nF1、nd1和nC1分别是第一材料对于g线、F线、d线和C线的折射率，ng2、nF2、nd2和nC2分别是第二材料对于g线、F线、d线和C线的折射率，并且，nFb2、ndb2和nCb2分别是微粒材料对于F线、d线和C线的折射率，并且，vd1＝(nd1-1)/(nF1-nC1)vd2＝(nd2-1)/(nF2-nC2)θg，F1＝(ng1-nF1)/(nF1-nC1) θg，d1＝(ng1-nd1)/(nF1-nC1)θg，F2＝(ng2-nF2)/(nF2-nC2)θg，d2＝(ng2-nd2)/(nF2-nC2)vdb2＝(ndb2-1)/(nFb2-nCb2)。