| 发明名称 | 用于低温低压烧结的固定设备 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于低温低压烧结的固定设备。具体而言，提供了一种固定设备(1；20)，其用于通过烧结夹在元件(7，9；21，22)之间的结合层(8；23)来结合多个元件(7，9；21，22)；其包括：支撑框架(2；24)；夹持装置(3；25)；接收区，该接收区用于接收包括多个元件(7，9；21，22)的堆组(4)，在该多个元件(7，9；21，22)中间布置结合层(8；23)，其中，夹持装置(3；25)适于当堆组(4)载入接收区时夹持堆组(4)并且恒定地施加烧结压力。固定设备(1；20)可在一种使用烧结工艺来结合多个元件(7，9；21，22)的方法中应用。所述方法包括如下步骤：将堆组(4)夹持至固定设备的接收区内；将热量施加至堆组(4)和结合层(8；23)，从而执行结合层(8；23)的烧结工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN101826474A | 申请公布日期 | 2010.09.08 |
| 申请号 | CN201010128909.7 | 申请日期 | 2010.03.04 |
| 申请人 | ABB研究有限公司 | 发明人 | S·哈特曼;柳春雷 |
| 分类号 | H01L21/603(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/603(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 薛峰 |
| 主权项 | 一种固定设备(1；20)，其用于通过烧结在元件(7，9；21，22)之间的结合层(8；23)来结合多个元件(7，9；21，22)；所述固定设备包括：支撑框架(2；24)；夹持装置(3；25)；接收区，其用于接收包括所述多个元件(7，9；21，22)的堆组(4)，在所述多个元件(7，9；21，22)中间布置所述结合层(8；23)；其中，所述夹持装置(3；25)适于当所述堆组(4)载入所述接收区时夹持所述堆组(4)并且恒定地施加烧结压力。 | ||
| 地址 | 瑞士苏黎世 | ||