| 发明名称 | 通过电子回旋共振产生的等离子体基本源来处理至少一个零件的表面的方法 | ||
| 摘要 | 本方法包括使一个或更多零件(1)相对于基本源(2)的至少一个固定直列作至少一个旋转运动，基本源(2)的所述一个或者多个直列被设置为与所述一个或更多零件的一个或更多旋转轴线平行。 | ||
| 申请公布号 | CN101828246A | 申请公布日期 | 2010.09.08 |
| 申请号 | CN200880112034.2 | 申请日期 | 2008.10.09 |
| 申请人 | H.E.F.公司 | 发明人 | 贝亚特·施密特;克里斯托弗·埃奥;菲利普·毛林-佩里耶 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李春晖;李德山 |
| 主权项 | 一种通过电子回旋共振产生的等离子体基本源来处理至少一个零件的表面的方法，其特征在于，所述方法包括：使一个或更多零件(1)相对于基本源(2)的至少一个固定直列作至少一个旋转运动，基本源(2)的所述一个或者多个直列被设置为与所述一个或更多零件的一个或更多旋转轴线平行。 | ||
| 地址 | 法国布德龙 | ||