退火装置

摘要

本发明的退火装置具有：处理室(1)，其容纳晶片(W)；加热源(17a、17b)，其被设置成面向晶片(W)的面，并具有对晶片(W)照射光的多个LED(33)；透光部件(18a、18b)，其对应于上述加热源(17a、17b)地设置，并使来自发光元件(33)的光透射，其中，加热源(17a、17b)构成为在支撑体(32)上朝向晶片(W)侧安装有多个发光元件(33)，发光元件分别单独地被由透明树脂构成的透镜层(20)覆盖。

主权项

一种退火装置，其特征在于，具备：处理室，其容纳被处理体；支撑部件，其在上述处理室内支撑被处理体；加热源，其被设置成面向上述支撑部件上的被处理体的至少一侧的面，并具有对被处理体照射光的多个发光元件；透光部件，其对应于上述加热源地设置，并使来自上述发光元件的光透射；排气机构，其对上述处理室内进行排气；处理气体供给机构，其向上述处理室内供给处理气体，其中，上述加热源具有支撑体和在其之上朝向被处理体侧被安装的多个发光元件，上述发光元件分别单独地被透镜层覆盖。