一种小载荷表面划痕测试装置

摘要

本发明涉及碳基薄膜的表面机械性能测试领域，更具体地说，公开了一种小载荷表面划痕测试装置，其特征在于，包括表面形貌仪(8)，试验台(1)，设置在试验台(1)上的一维自动位移台(2)，固定在一维自动位移台(2)上的试样夹持台(3)，以及设置在试验台(1)上并位于一维自动位移台(2)两侧的用于夹持表面形貌仪的第一三维手动平移台(8)和用于夹持刻划装置(5)的第二三维手动平移台(4)。

主权项

一种小载荷表面划痕测试装置，其特征在于，包括表面形貌仪(8)，试验台(1)，设置在试验台(1)上的一维自动位移台(2)，固定在一维自动位移台(2)上的试样夹持台(3)，以及设置在试验台(1)上并位于一维自动位移台(2)两侧的用于夹持表面形貌仪的第一三维手动平移台(8)和用于夹持刻划装置(5)的第二三维手动平移台(4)；所述刻划装置(5)包含金属直梁(502)，垂直固定在金属直梁(502)前端的刻划头(508)，两端分别固定在金属直梁(502)中后部的金属薄片(503)，贴敷在金属薄片(503)上的用于测量刻划头正压力的电阻应变片(504)，固定在金属薄片(503)前部的固定件(501)，固定件(501)的后端固定连接第二三维手动平移台(4)，固定件(501)的前部设置顶压金属直梁的弹簧(505)和螺钉(506)。