振动式陀螺仪

摘要

本发明提供一种在使用振子的物理量测定装置中，可以降低检测信号的零点温度漂移这样的振动式陀螺仪。提供一种通过连接线(26)来支撑振子(1A)的用于振动式陀螺仪的振子的支撑结构。振动式陀螺仪具有形成有配置在振子1A正下方的开口(25)的支撑板(40)以及连接线(26)，该连接线(26)具有：连接固定在振子(1A)上的连接端部(29)；固定到支撑板(40)上的固定部(26a)；以及存在于开口(25)下的折曲部(28)。连接线(26)从支撑板(40)的突出开始位置(39)与折曲部(28)的间隔(L1)是折曲部(28)与连接端部(29)的间隔(L2)的10％以上。

主权项

一种用于振动式陀螺仪的振子的支撑结构，其特征在于，具备：具有上面和下面的振子；设置于所述振子上、用于在该振子上激振驱动振动的驱动电极；设置于所述振子上、用于检测在所述振子上被激振的检测振动的检测电极；配置在所述振子的所述下面下方且形成有开口的支撑板；以及连接线，该连接线具有连接在所述振子上的端部、连接并固定到所述支撑板上的固定部以及折曲部，各所述连接线与所述驱动电极或者所述检测电极电连接，各所述连接线仅与所述振子的所述下面连接，所述连接线从所述支撑板的突出开始位置与所述折曲部的间隔(L1)是所述折曲部与所述端部的间隔(L2)的10％以上。