具有类金字塔结构的绒面ZnO薄膜的制备方法

摘要

一种具有类金字塔结构的绒面ZnO薄膜的制备方法。本发明以醋酸锌作为Zn源，硝酸铟或醋酸铟作为掺杂铟源，硝酸铝或醋酸铝作为掺杂铝源，硝酸镓或醋酸镓作为掺杂镓源，以无水乙醇和/或水作为溶剂，分别配置成一定浓度的锌源溶液和掺杂源溶液，并混合，再向其中加入冰乙酸；用高纯N2或空气作为载气，把上述反应液输送至薄膜沉积室内进行生长。衬底可为玻璃或不锈钢等，生长温度为300℃-550℃。本发明在不需要B2H6掺杂的情况下，采用廉价无毒的化学药品，利用低成本的超声雾化设备直接获得具有光散射特征的绒面结构的ZnO薄膜；因此本发明对环境不会造成污染，属于“绿色”环保型技术，该方法可适合大面积(例如S＝1.2m×0.6m)ZnO透明导电薄膜的制备。

主权项

一种具有类金字塔结构的绒面ZnO薄膜的制备方法，其特征在于由以下步骤实现：第一、以醋酸锌作为锌源，硝酸铟或醋酸铟作为掺杂铟源，硝酸铝或醋酸铝作为掺杂铝源，硝酸镓或醋酸镓作为掺杂镓源，将水和无水乙醇按照1∶0～1∶10的体积比混合之后作为溶剂，将锌源和以上所述的各掺杂源分别配置成浓度小于0.5mol/L的锌源溶液和掺杂源溶液；第二、将上步中的锌源溶液和任一种掺杂源溶液按照1∶0.01～1∶0.2的原子百分比例混合，再向混合液中按照锌源溶液与冰乙酸的体积比为1∶0.05～1∶1加入冰乙酸后形成反应液；第三、用高纯N2或空气作为载气采用超声雾化技术把第二步所述反应液输送至薄膜沉积室内进行生长；衬底为玻璃或不锈钢，生长温度为300℃-550℃。