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发明名称
METHOD FOR ENHANCING GROWTH OF SEMI-POLAR (Al, In,Ga,B)N VIA METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
EP1935014(A4)
申请公布日期
2010.09.08
申请号
EP20060790201
申请日期
2006.09.08
申请人
THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY
发明人
IZA, MICHAEL;BAKER, TROY, J.;HASKELL, BENJAMIN, A.;DENBAARS, STEVEN, P.;NAKAMURA, SHUJI
分类号
H01L21/20;H01L21/02
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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