发明名称 METHOD FOR ENHANCING GROWTH OF SEMI-POLAR (Al, In,Ga,B)N VIA METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1935014(A4) 申请公布日期 2010.09.08
申请号 EP20060790201 申请日期 2006.09.08
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA;JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY 发明人 IZA, MICHAEL;BAKER, TROY, J.;HASKELL, BENJAMIN, A.;DENBAARS, STEVEN, P.;NAKAMURA, SHUJI
分类号 H01L21/20;H01L21/02 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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