探针卡、包括探针卡的半导体测试装置以及探针卡的熔丝检查方法

摘要

本发明涉及探针卡、包括探针卡的半导体测试装置以及探针卡的熔丝检查方法。根据本发明的示例性方面的探针卡包括：驱动端子，该驱动端子提供有第一电源电压；探针，该探针将与第一电源电压相对应的电压提供给要被测试的半导体集成电路；熔丝，该熔丝被串联地连接在连接驱动端子和探针的第一信号线上；以及熔丝检查电路，该熔丝检查电路将不同于从驱动端子提供的第一电源电压的电压提供给位于探针与熔丝的一端之间的第一信号线上的第一结点。电路构造使能够在产品检查之前检查熔丝的连接状态。这使能够高可靠性地执行半导体测试。

主权项

一种探针卡，包括：第一电源电极，所述第一电源电极被提供有第一电源电压；探针，所述探针将与所述第一电源电压相对应的电压提供给要被测试的半导体集成电路；第一信号线，所述第一信号线连接所述第一电源电极和所述探针；熔丝，所述熔丝被串联地连接在所述第一信号线上；以及熔丝检查电路，所述熔丝检查电路将不同于所述第一电源电压的电压提供给位于在所述探针与所述熔丝的一端之间的所述第一信号线上的第一结点。