薄膜晶体管基板及其制造方法

摘要

薄膜晶体管基板及其制造方法。公开了一种薄膜晶体管基板及其制造方法，包括用于将与选通线的点亮检查时使用的选通短路条连接的选通短路线划分成奇选通短路线和偶选通短路线的开孔。在薄膜晶体管基板中，在基板上形成选通线。数据线与选通线交叉，二者之间具有栅绝缘膜。在选通线与数据线的交叉处形成薄膜晶体管。在栅绝缘膜上形成用于覆盖薄膜晶体管的保护膜。像素电极经由穿过保护膜的接触孔，连接到薄膜晶体管。选通短路条连接到从与选通线连接的选通焊盘延伸出的奇选通短路线和偶选通短路线。开孔使得奇选通短路线和偶选通短路线中的一个与选通短路条断开。

主权项

一种薄膜晶体管基板，包括：形成在基板上的选通线；与选通线交叉的数据线，并且二者之间具有栅绝缘膜；形成在选通线与数据线的交叉处的薄膜晶体管，其中该薄膜晶体管包括用于保护该薄膜晶体管的有源层的沟道保护膜；用于覆盖形成在栅绝缘膜上的薄膜晶体管的保护膜；经由穿过保护膜的第一接触孔连接到薄膜晶体管的像素电极；与从连接到选通线的选通焊盘延伸出的奇选通短路线和偶选通短路线连接的选通短路条；与从连接到数据线的数据焊盘延伸出的奇数据短路线和偶数据短路线连接的数据短路条；用于使奇选通短路线和偶选通短路线中的一个与选通短路条断开的开孔，其中选通短路条包括连接到从所述选通焊盘延伸出的奇选通短路线的第一选通短路条；以及连接到被开孔所断开的偶选通短路线的第二选通短路条，其中第二选通短路条经由形成在所述保护膜上的第二接触孔电连接到被断开的偶选通短路线；其中所述数据短路线包括奇数据短路线和偶数据短路线；其中通过掩模工艺，利用与所述选通线相同的金属将第一选通短路条与所述奇选通短路线和偶选通短路线一起同时形成在所述基板上；其中将第二选通短路条与数据线一起同时形成，并且将第二选通短路条形成为与选通短路线交叉，并且二者之间具有栅绝缘膜；其中通过掩模工艺，利用与所述数据线相同的金属将所述数据线以与所述奇选通短路线和偶选通短路线交叉的方式形成在所述基板的栅绝缘膜上；其中所述栅绝缘膜位于所述第一选通短路条和所述第二选通短路条之间；并且形成在所述保护膜上的开孔穿过该保护膜和所述栅绝缘膜以暴露出所述基板，并且使所述奇选通短路线和所述保护膜上的第一选通短路条分开。