扩散炉波纹管、炉门密封装置及扩散炉

摘要

本实用新型公开了一种闭管扩散炉波纹管，包括波纹段和光滑段，所述波纹段的管体呈波纹状，所述光滑段的管体具有光滑的管面。所述波纹段和实体段为一体结构。本实用新型还公开了一种具有该波纹管结构的炉门密封装置和扩散炉。与现有技术相比本实用新型的波纹管的强度大大增强，能有效的减少波纹管受高温后变形的现象，从而减少因炉门与石英管密封不严而导致硅片返工情况的发生，减少炉门损坏数量，提高设备的利用率，降低设备的维护成本。

主权项

一种扩散炉波纹管，其特征是：包括波纹段和光滑段，所述波纹段的管体呈波纹状，所述光滑段的管体具有光滑的管面。