自动冷却式供电装置

摘要

本发明公开了一种自动冷却式供电装置，适用于固定真空腔体内的蒸发源并对其供电，该自动冷却式供电装置包括供电单元、密封单元及冷却单元，供电单元包括两呈中空结构的电极棒，所述中空结构形成进水槽，两电极棒的内端分别与蒸发源的两端相连，而两电极棒的外端与电极线相连接，密封单元包括法兰和卡置于法兰上的绝缘件，电极棒穿过绝缘件绝缘地固定于法兰上，法兰安装于真空腔体上构成封闭的空间，冷却单元包括出水管、进水接头和出水接头，出水管悬置于进水槽内，进水接头与进水槽相连通，出水接头与出水管相连通，进水接头、进水槽、出水管及出水接头构成冷却通路。本发明自动冷却式供电装置自带冷却功能，从而能提供较好的供电性能和安全性能。

主权项

一种自动冷却式供电装置，适用于固定真空腔体内的蒸发源并对所述蒸发源供电，其特征在于，所述自动冷却式供电装置包括：供电单元，所述供电单元包括两呈中空结构的电极棒，所述中空结构形成进水槽，所述电极棒包括位于所述真空腔体内的内端和位于所述真空腔体外的外端，所述外端与电极线相连接，其中一所述电极棒的内端与所述蒸发源的一端相连，而另一所述电极棒的内端与所述蒸发源的另一端相连；密封单元，所述密封单元包括法兰和卡置于所述法兰上的绝缘件，所述电极棒穿过所述绝缘件绝缘地固定于所述法兰上，所述法兰安装于所述真空腔体上与所述真空腔体一起构成封闭的空间；冷却单元，所述冷却单元包括出水管、进水接头和出水接头，所述出水管悬置于所述进水槽内，所述进水接头与所述进水槽相连通，所述出水接头与所述出水管相连通，所述进水接头、进水槽、出水管及出水接头构成冷却通路。