研磨头、研磨装置以及工件的剥离方法

摘要

本发明提供一种研磨头(11)，具有：圆盘状托架(13)，在其周边部形成有环状突出部(13a)与托架闩锁部(13b)圆盘状研磨头本体(12)，在其外侧形成有环状研磨头本体闩锁部(12a)隔膜(14)，其连接前述研磨头本体及前述托架；及间隔物(15)，其是位于前述托架闩锁部及/或研磨头本体闩锁部的一部分，且位于该托架闩锁部与研磨头本体闩锁部之间；使前述研磨头本体上升时，利用前述托架闩锁部及/或研磨头本体闩锁部与前述间隔物抵接，而使前述托架倾斜并举起，来将工件(W)从研磨布剥离。以此，能够提供一种研磨头，不必在研磨布形成沟槽、或使研磨头从转盘突出，亦能够将保持有工件的研磨头上升而容易且安全、确实地将工件从研磨布剥离。

主权项

一种研磨头，其特征在于：至少具有：用以保持工件的背面的托架，其是圆盘状，在其周边部形成有往上方突出的环状突起部及从该突出部向内伸出的环状托架闩锁部；研磨头本体，以保持该托架同时能够旋转，且在内侧形成有空间部，在外侧形成有向外伸出的环状研磨头本体闩锁部；及隔膜，其连接前述研磨头本体及前述托架，同时将前述托架本体的空间部密闭；在使前述工件的表面与贴于转盘上的研磨布作滑动接触而进行研磨时，在利用与该空间部连接的压力调整机构来调整前述密闭后的空间部的压力的状态下，将前述工件的背面保持于前述托架，且在前述工件研磨后，使前述研磨头上升来将前述工件从研磨布剥离时，通过使前述研磨头本体上升，并使前述托架闩锁部闩锁前述研磨头本体闩锁部而上升，来将该工件从研磨布剥离的研磨头，其中具备间隔物，其是位于前述托架闩锁部及/或研磨头本体闩锁部的一部分，且位于前述托架闩锁部与研磨头本体闩锁部之间；在使前述研磨头本体上升来将前述工件从研磨布剥离时，利用在使前述研磨头本体上升时，使前述托架闩锁部及/或研磨头本体闩锁部与前述间隔物抵接，而使前述托架倾斜并举起，来将前述工件从前述研磨布剥离。