发明名称 |
缓冲传输装置 |
摘要 |
本发明提供一种缓冲传输装置,包括密封腔、工件传动单元及真空度控制单元,密封腔呈水平放置,密封腔的右侧面开设有工件进口,工件进口处设置有工件进口阀门,密封腔的左侧面开设有工件出口,工件出口处设置有工件出口阀门;工件传动单元包括滚轮驱动装置及枢接于密封腔体内的若干传动滚轮,传动滚轮呈水平的排列于工件进口阀门与工件出口阀门之间,滚轮驱动装置驱动传动滚轮转动;真空度控制单元包括气管、进气阀门、出气阀门及真空度测量仪器,气管与密封腔连通且气管具有进气分管及出气分管,进气阀门装设于进气分管上,出气阀门装设于出气分管上。本发明能够很好的防止真空连续生产线上因交叉污染而造成的工件良品率下降的问题。 |
申请公布号 |
CN101826478A |
申请公布日期 |
2010.09.08 |
申请号 |
CN201010139376.2 |
申请日期 |
2010.03.30 |
申请人 |
东莞宏威数码机械有限公司 |
发明人 |
杨明生;余超平;刘惠森;范继良;王勇;王曼媛;张华 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
张艳美;郝传鑫 |
主权项 |
一种缓冲传输装置,用于连接于前处理环境空间与后处理环境空间之间,其特征在于,包括:密封腔,所述密封腔呈水平放置,所述密封腔的右侧面开设有工件进口,所述工件进口处设置有工件进口阀门,所述密封腔的左侧面开设有工件出口,所述工件出口处设置有工件出口阀门;工件传动单元,所述工件传动单元包括滚轮驱动装置及枢接于所述密封腔内的若干传动滚轮,所述传动滚轮呈水平的排列于工件进口阀门与工件出口阀门之间,所述滚轮驱动装置驱动所述传动滚轮转动;及真空度控制单元,所述真空度控制单元包括气管、进气阀门、出气阀门及真空度测量仪器,所述气管与所述密封腔连通且所述气管具有进气分管及出气分管,所述进气阀门装设于所述进气分管上,所述出气阀门装设于所述出气分管上。 |
地址 |
523000 广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区 |