发明名称 | SE电池的掩膜设备 | ||
摘要 | 本实用新型所公开的SE电池的掩膜设备,它包括沉淀室,沉淀室内设有石墨载板,石墨载板上规则地分布有硅片承载框,所述的承载框内凸出地设有与电池电极形状一致的掩模。本实用新型所得到的SE电池的掩膜设备,当生产运行沉积工艺后,由于掩模与电池电极图形一致,掩模的阻挡作用可使电池表面待印电极栅线的地方不淀积上薄膜,而在其它区域形成一层阻挡薄膜,为后续扩散工艺形成选择性的扩散创造了条件,使得后续的轻重掺杂可一次性完成,节省了工艺的同时又可实现在电机栅线及其附近形成深结区,其余区域为浅结区的技术工艺要求。 | ||
申请公布号 | CN201576695U | 申请公布日期 | 2010.09.08 |
申请号 | CN200920314228.2 | 申请日期 | 2009.11.06 |
申请人 | 浙江百力达太阳能有限公司 | 发明人 | 李科伟;石劲超 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 | 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙) 33236 | 代理人 | 唐迅 |
主权项 | 一种SE电池的掩膜设备,它包括沉淀室(1),沉淀室(1)内设有石墨载板(2),石墨载板(2)上规则地分布有硅片承载框(3),其特征是所述的承载框内凸出地设有与电池电极形状一致的掩模(4)。 | ||
地址 | 314513 浙江省桐乡市河山工业园 |