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发明名称 FIXATION CARRIER, PRODUCTION METHOD OF FIXATION CARRIER, USE METHOD OF FIXATION CARRIER, AND SUBSTRATE RECEPTION CONTAINER
摘要
申请公布号 EP1858058(A4) 申请公布日期 2010.09.08
申请号 EP20060712518 申请日期 2006.01.27
申请人 SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 发明人 ODASHIMA, SATOSHI;HOSONO, NORIYOSHI
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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