| 发明名称 | 抛光台装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种抛光台装置，特别是一种用于半导体晶圆的化学机械抛光设备上的抛光台装置，它包括大理石抛光台、散热盘、主传动轴以及由三者构成的冷却液循环系统，所述的散热盘的下端面与机体间设有一推力轴承，推力轴承的上轴承座与散热盘共为一体，推力轴承的下轴承座与机体固定。本实用新型所要解决的技术问题是提供一种易制造、承载能力强的抛光台装置。 | ||
| 申请公布号 | CN201573110U | 申请公布日期 | 2010.09.08 |
| 申请号 | CN200920254928.7 | 申请日期 | 2009.12.10 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 发明人 | 陈波;柳滨;王伟 |
| 分类号 | B24B37/04(2006.01)I;H01L21/302(2006.01)N | 主分类号 | B24B37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人 | 董金国 |
| 主权项 | 一种抛光台装置，它包括大理石抛光台、散热盘、主传动轴以及由三者构成的冷却液循环系统，其特征是所述的散热盘(2)的下端面与机体(6)间设有一推力轴承(7)，推力轴承(7)的上轴承座与散热盘(2)共为一体，推力轴承(7)的下轴承座(8)与机体(6)固定。 | ||
| 地址 | 河北省三河市燕郊开发区海油大街20号 | ||