| 发明名称 | 应用于硅片化学机械抛光设备中的抛光头磁性夹紧装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于硅晶片化学机械抛光(CMP)设备中的抛光头与心轴的磁性夹紧装置，所述磁性夹紧装置包括磁铁、基座以及能够调整磁铁旋转角度的开关旋钮。使用的过程中，通过转动开关旋钮来调节磁性的开与关，从而实现抛光头与心轴的夹紧与松脱。当柱形磁铁的两极都处在同一块钢锭时，磁力线直接从这块钢锭内通过，基座因磁短路而对外不表现磁性；当柱形磁铁被旋转到另一角度后，该磁铁的两极分别处于基座两块钢锭上，磁力线就从整个基座导出来吸住心轴，该磁性夹紧装置就是通过这样的方式与实现抛光头与心轴定位、夹紧的，而且结构简单，安装和操作都很方便。 | ||
| 申请公布号 | CN201573095U | 申请公布日期 | 2010.09.08 |
| 申请号 | CN200920255030.1 | 申请日期 | 2009.12.22 |
| 申请人 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 发明人 | 高文泉;陈威;廖垂鑫;陈波;柳滨 |
| 分类号 | B24B7/22(2006.01)I;B24B41/047(2006.01)I;H01L21/302(2006.01)I | 主分类号 | B24B7/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人 | 杨钦祥 |
| 主权项 | 一种应用于硅片化学机械抛光设备中的抛光头磁性夹紧装置，其特征在于包括圆柱形开关组件和基座，所述圆柱形开关组件由2块半圆柱形磁铁(102)、夹在2块半圆柱形磁铁(102)中间部位的用于分隔柱形磁铁(102)的隔磁块(105)以及设置在柱形磁铁(102)上的调节柱形磁铁(102)旋转角度的开关旋钮(101)组成，所述基座包括2个导磁块(103)和夹在2个导磁块(103)之间的隔磁板(104)，在2个导磁块(103)的对接面处设有与圆柱形磁性开关组件相适配的孔，在2个导磁块(103)上分别设有安装孔。 | ||
| 地址 | 065201 河北省三河市燕郊经济开发区海油大街20号 | ||