硅片切割废砂浆的回收处理方法

摘要

本发明涉及一种硅片切割废砂浆的回收处理方法。包括如下步骤：①分离硅片切割废砂浆中的固液成分；②进一步回收固体中残留的切割液成分；③水流浮选分离硅粉、碳化硅；④回收硅粉；⑤回收碳化硅；⑥将回收的切割液进行粗滤、精滤、脱色、真空蒸馏脱水，添加相应量的组分进行二级过滤后。本发明回收产物种类多，包括碳化硅微粉、切割液、硅粉，回收率高，回收效益高，可节省砂浆成本至少40％；同时有效地解决了单一回收可能造成二次污染问题；回收处理后的碳化硅微粉重新恢复切割功能，变废为宝，实现了真正意义上的资源再利用，可促进循环经济的发展；本发明方法对接污水处理工艺后，将废水处理后再利用，基本实现废液的零排放，有利于环境保护。

主权项

一种硅片切割废砂浆的回收处理方法，包括如下步骤：(1)固液分离调节硅片切割废砂浆温度至20℃～100℃，降低其粘度后，再采用离心设备对废砂浆进行固、液分离；(2)固体中残留切割液回收将上步分离所得固体添水造浆后采用刮刀离心机分离，过滤液体，并进行多级浓缩，使液体中水分含量降低至10％以下；(3)碳化硅和硅粉分离将上步分离出的固体物料加水造浆，使其质量浓度为20～40％，并按固体质量的0.01％～0.1％向浆料中添加浮选油，便于碳化硅和硅粉分离，将上述浆料打入水力分级装置，持续鼓入空气气流充分搅拌1～3小时后，再以100L/h～300L/h的流速进行水流浮选，使硅粉分离出来；(4)硅粉回收对上步分离出的硅粉依次进行酸洗、浓缩、烘干，得成品；(5)碳化硅回收对步骤(3)中分离出的碳化硅依次进行酸洗、碱洗、溢流水力分级、浓缩、烘干、筛松后得到成品；(6)切割液回收合并步骤(1)、(2)中所回收到的切割液，进行粗滤、精滤、脱色、真空蒸馏脱水，根据回收液的组分含量变化，添加相应量的组分，采用滤芯精度为0.05u～0.5u的精密滤芯过滤器进行二级过滤后即成。