| 发明名称 | 砜化合物、磺酸盐和放射线敏感性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及具有通式(1)表示的部分结构的化合物。<img file="200880111642.1_AB_0.GIF" wi="248" he="119" />(通式(1)中，R<sup>1</sup>各自独立地表示氢原子或烃基，R<sup>2</sup>表示烃基，Rf表示氟原子或全氟烷基，L表示0～4的整数，n表示0～10的整数，m表示1～4的整数。) | ||
| 申请公布号 | CN101827813A | 申请公布日期 | 2010.09.08 |
| 申请号 | CN200880111642.1 | 申请日期 | 2008.10.14 |
| 申请人 | JSR株式会社 | 发明人 | 江畑琢磨;永井智树 |
| 分类号 | C07C309/19(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I;C07D333/46(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C07C309/19(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 左嘉勋;顾晋伟 |
| 主权项 | 1.一种化合物，其具有由下述通式(1)表示的部分结构，<img file="FPA00001098888900011.GIF" wi="977" he="601" />通式(1)中，R<sup>1</sup>各自独立地表示氢原子或者取代或未取代的碳原子数1～8的烃基，R<sup>2</sup>表示取代或未取代的碳原子数1～8的烃基，Rf表示氟原子或碳原子数1～4的全氟烷基，L表示0～4的整数，n表示0～10的整数，m表示1～4的整数。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||