用于半导体器件测试器的接口设备

摘要

信号接口将半导体测试器连接至被测器件。该接口包括通用组件和专用组件。通用组件包括可以连接在测试器和被测器件之间的多条信号路径中的多个同样的电子元件。构造专用组件用于特定被测器件，并且提供通用组件上的通用接触点和被测器件上的测试点之间的连接。另外，专用组件具有可以用于互连通用组件上的电子元件的导电部件。若干连接将电子元件配置到信号调节电路中，由此提供通过接口的信号路径，该信号路径与被测器件上的特定测试点的I/O特性相兼容。可在半导体晶片上制造通用和专用组件。

主权项

一种用于自动测试系统的接口，所述接口具有多个接触，通过所述接触测试信号发送至测试器内的电路或者从测试器内的电路接收测试信号，该接口包括：具有第一侧和第二侧的第一组件，包括：形成在第一侧和第二侧的每侧上的多个接触，第一侧上的多个接触被设置为电连接至自动测试系统上的多个接触；具有多个输入和输出的第一组件上的电路，每个输入和每个输出连接至第二侧上的接触；具有第一侧和第二侧的第二组件，第二组件包括：第一侧上的多个接触；第二侧上的多个探针；第一多个导电部件，每个都设置为使形成在第一组件的第二侧上的至少两个接触互连，由此通过第二多个导电部件的每个将所述第一组件上的电路的至少两个输入或输出相连接；以及第二多个导电部件，每个都将第一组件的第二侧上的接触连接至第二组件的第一侧上的接触。