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发明名称
摘要
申请公布号	JP4539413(B2)	申请公布日期	2010.09.08
申请号	JP20050116167	申请日期	2005.04.13
申请人		发明人
分类号	H01L29/84;G01P15/08;G01P15/125	主分类号	H01L29/84
代理机构		代理人
主权项
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