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发明名称 Verfahren zur Herstellung duenner Schichten von Verbindungen durch Kathodenzerstaeubung
摘要
申请公布号 DE878585(C) 申请公布日期 1953.06.05
申请号 DE1951H007689 申请日期 1951.03.02
申请人 W. C. HERAEUS G.M.B.H. 发明人 REICHELT WALTHER DR.
分类号 C23C14/06;C23C14/08 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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