发明名称 PANEL SUPPORTING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100980024(B1) 申请公布日期 2010.09.03
申请号 KR20030039914 申请日期 2003.06.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址