发明名称 PROCEDE D'ELABORATION D'UN SUBSTRAT HYBRIDE PAR RECRISTALLISATION PARTIELLE D'UNE COUCHE MIXTE
摘要 <p>Un procédé d'élaboration d'un substrat hybride comporte les étapes suivantes : - on provoque la séparation d'un premier substrat monocristallin en sorte d'obtenir deux portions superficielles 11 et 12, - on prépare un substrat provisoire comportant une couche mixte qui est longée par l'une, 11, des portions superficielles et qui est formée de premières zones 13 et de secondes zones adjacentes 14, différentes, en un matériau sous forme amorphe, ces secondes zones formant au moins une partie de la surface libre de ce premier substrat, - on colle à ce premier substrat, par collage moléculaire sur au moins ces zones amorphes, l'autre portion superficielle, 12, avec la même orientation cristallographique que la première portion superficielle, - on provoque, sélectivement par rapport aux premières zones, la recristallisation en phase solide d'au moins une partie des zones amorphes suivant l'orientation cristallographique des deux portions superficielles et on sépare avantageusement les deux portions superficielles.</p>
申请公布号 FR2942674(A1) 申请公布日期 2010.09.03
申请号 FR20090051247 申请日期 2009.02.27
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 FOURNEL FRANCK;SIGNAMARCHEIX THOMAS;CLAVELIER LAURENT;DEGUET CHRYSTEL
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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