PROCEDE D'ELABORATION D'UNE MEMBRANE COMPORTANT DES MICROPASSAGES EN MATERIAU POREUX PAR POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE,申请号FR20080001922-传众专利搜索

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发明名称	PROCEDE D'ELABORATION D'UNE MEMBRANE COMPORTANT DES MICROPASSAGES EN MATERIAU POREUX PAR POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE
摘要
申请公布号	FR2929757(B1)	申请公布日期	2010.09.03
申请号	FR20080001922	申请日期	2008.04.08
申请人	COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;STMICROELECTRONICS	发明人	COIFFIC JEAN-CHRISTOPHE;RIVOIRE MAURICE
分类号	H01L21/762	主分类号	H01L21/762
代理机构		代理人
主权项
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