| 摘要 |
<p>Es wird ein Mikro-elektro-mechanischer Sensor (MEMS) (1) mit linear in einer x-y-Ebene bewegten Antriebselementen (2, 3, 4) vorgeschlagen, welche auf einem Substrat angeordnet sind zur Ermittlung von mindestens zwei, vorzugsweise drei, Komponenten des Drehratenvektors des Substrats, wobei zwei Gruppen von Antriebselementen (2, 3; 4) existieren, die im Wesentlichen in rechtwinklig zueinander verlaufenden Richtungen angetrieben sind. Der erfindungsgemäße mikro-elektro-mechanische Sensor (MEMS) (1) zeichnet sich dadurch aus, dass die rechtwinkelig zueinander bewegten Antriebselemente (2, 4; 3, 4) mittels einer drehbar auf dem Substrat gelagerten Kopplungseinrichtung (6, 7) zur Synchronisation der Bewegungen miteinander verbunden sind.</p> |
