| 发明名称 |
Halbleiterspeichervorrichtungen und Verfahren zur Herstellung derselben unter Verwendung von Seitenwandabstandshaltern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10327945(B4) |
申请公布日期 |
2010.09.02 |
| 申请号 |
DE20031027945 |
申请日期 |
2003.06.20 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD. |
发明人 |
PARK, BYUNG-JUN |
| 分类号 |
H01L27/108;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L23/522;H01L27/10;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L27/108 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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