Verfahren zum berührungslosen Messen der Topographie

摘要

Ein Verfahren zum berührungslosen Messen der Topographie einer sphärisch asphärisch gekrümmten Luft-Glas-Oberfläche einer optischen Linse oder Linsenkombination zeichnet sich dadurch aus, daß die zu vermessende Oberfläche (S1) an ihrer Glasrückseite durch die in Meßrichtung davor liegende Luft-Glas-Oberfläche (S2) hindurch mit einem optischen Meßstrahlenbündel abgetastet wird. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens ist dadurch gekennzeichnet, daß a) die optische Linse (2) oder das Linsensystem auf der Stirnseite einer drehbar gelagerten Hohlwelle (1) derart befestigt ist, daß die optische Achse der Linse oder des Linsensystems zumindest annähernd mit der Drehachse (3) der Hohlwelle (1) fluchtet, b) in der Hohlwelle (1) eine Fokussieroptik (6) für ein optisches Meßstrahlenbündel (10) angeordnet ist, c) die Meßeinheit (7) zur Erzeugung des Meßstrahlenbündels (10) senkrecht zur Drehachse (3) der Hohlwelle (1) verschiebbar angeordnet ist, d) in das Meßstrahlenbündel (10) mindestens ein Strahlenteiler (11) zum Abzweigen und Weiterleiten eines Teilstrahlenbündels auf mindestens einen optischen Sensor (12) eingefügt ist und e) dem Sensor (12) ein opto-elektronischer Wandler und eine Auswerte-Elektronik zugeordnet sind.