发明名称 Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Elements auf einem Substrat
摘要
申请公布号 DE112008002554(T5) 申请公布日期 2010.09.02
申请号 DE200811002554T 申请日期 2008.10.15
申请人 EPCOS AG 发明人 SCHAIJK, ROBERTUS VAN T. F.;ZIJLSTRA, PIEBE ANNE;KOSTER, RONALD;DIJK, PIETER SIMON VAN
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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