发明名称 Method for manufacturing spiral piezoelectric actuator by use of thermoplastic co-extrusion and spiral piezoelectric actuator and micromini ultrasonic motor manufactured thereby
摘要
申请公布号 KR100979522(B1) 申请公布日期 2010.09.02
申请号 KR20070080422 申请日期 2007.08.10
申请人 发明人
分类号 H01L41/16;B06B1/06;H01L41/18 主分类号 H01L41/16
代理机构 代理人
主权项
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