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发明名称 Process For The Production Of Polymer Solution For ArF Excimer Laser Resist
摘要
申请公布号 KR100979871(B1) 申请公布日期 2010.09.02
申请号 KR20077028166 申请日期 2003.03.14
申请人 发明人
分类号 C08F6/16;C08F6/00;C08F6/02;C08F6/06;C08F20/28;G03F7/039 主分类号 C08F6/16
代理机构 代理人
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