| 发明名称 |
PRECISION MICRO-ELECTROMECHANICAL SENSOR (MEMS) MOUNTING IN ORGANIC PACKAGING |
| 摘要 |
Apparatus and methods for mounting micro-electromechanical (MEMS) sensors in three dimensions, using horizontal and vertical substrates.
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| 申请公布号 |
US2010221860(A1) |
申请公布日期 |
2010.09.02 |
| 申请号 |
US20090488257 |
申请日期 |
2009.06.19 |
| 申请人 |
HAWAT NOUREDDINE;NUYTKENS PETER R |
发明人 |
HAWAT NOUREDDINE;NUYTKENS PETER R. |
| 分类号 |
H01L21/56 |
主分类号 |
H01L21/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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