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Ein Verbindungssubstrat 10 enthält: ein piezoelektrisches Substrat 12, das imstande ist, eine elastische Welle zu übermitteln und das aus Lithiumtantalat (LT) besteht; ein Siliziumträgersubstrat 14, das mit der Rückseitenoberfläche des piezoelektrischen Substrats in der (111)-Ebene verbunden ist; unnd 14 miteinander verbindet. |
