MEMS-Resonatorbauelemente

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf MEMS-Bauelemente. Bei einem Ausführungsbeispiel umfasst ein mikroelektromechanisches-System-(MEMS-)Bauelement ein Resonatorelement mit einem Umfang, eine Ankerregion und eine Mehrzahl von Balkenelementen, die die Ankerregion und das Resonatorelement koppeln. Weitere Ausführungsbeispiele umfassen zusätzliche Bauelemente, Systeme und Verfahren.