发明名称 垂直配向型液晶显示元件用突部及垂直配向型液晶显示元件用间隔物之形成方法
摘要
申请公布号 TWI329788 申请公布日期 2010.09.01
申请号 TW093112715 申请日期 2004.05.06
申请人 JSR股份有限公司 发明人 佐野公康;蓑轮贵树;斋藤千绘;西川通则
分类号 G03F7/038 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 一种垂直配向型液晶显示元件用突部及/或垂直配向型液晶显示元件用间隔物之形成方法,其特征为具备以下步骤:(1)使用由包含(a)由酚醛清漆树脂所构成之硷可溶性树脂、(b)1,2-苯醌二叠氮、以及(c)以下述一般式(1)所表示之化合物及/或于分子内含有2个以上环氧基之化合物的感放射性树脂组成物,于基板上形成被膜的步骤;(2)使用具有突部部份与间隔物部份二种图案的一种光罩,对该被膜曝光1次放射线的步骤,(3)藉由硷性显像液显像曝光后的该被膜之步骤,以及(4)再次对形成之图案曝光放射线的步骤,@sIMGTIF!d10006.TIF@eIMG!(式中,R1~R6系表示彼此独立之氢原子或是-CH2OR,R系表示氢原子或是碳原子数1~6直链状或是分枝状之烷基)。
地址 日本