| 主权项 |
一种真空涂覆机，其具有至少一处理室，该处理室具有一室外壳；至少一旋转阴极，其相对该室外壳被支撑且藉着一驱动器单元发动地(motorically)驱动；以及一用于在其驱动侧端部补偿该旋转阴极之摇摆运动的装置，其中该旋转阴极之驱动器单元系相对该室外壳藉着一顺应式悬挂作用所配置，且其中该驱动器单元之顺应式悬挂作用系藉着一配置在室外壳及驱动器单元间之弹性中介板所执行。如申请专利范围第1项之真空涂覆机，其中该驱动器单元系藉着固定螺丝安装至该室壁，该等固定螺丝穿过该驱动器单元及该中介板中之钻孔。如申请专利范围第1项之真空涂覆机，其中该弹性中介板系仅只安装至该室外壳，且该驱动器单元系仅只安装至该中介板。如申请专利范围第1至3项中任一项之真空涂覆机，其中一壁面开口之尺寸系至少为进给经过该开口的驱动器组件之直径加上该旋转阴极之摇摆偏斜度的两倍之尺寸。如申请专利范围第1至3项中任一项之真空涂覆机，其中该中介板系由一弹性体所形成。如申请专利范围第5项之真空涂覆机，其中该中介板系由一橡胶材料所形成。如申请专利范围第5项之真空涂覆机，其中该中介板系由一天然橡胶或聚矽氧化物(silicone)所形成。如申请专利范围第5项之真空涂覆机，其中萧氏硬度系最小50度及最大80度。如申请专利范围第8项之真空涂覆机，其中萧氏硬度系位于60度至70度之范围中。如申请专利范围第5项之真空涂覆机，其中该中介板系由不导电材料所形成。如申请专利范围第1至3项中任一项之真空涂覆机，其中该旋转阴极之自由端的支撑轴承系设计为一固定式轴承。如申请专利范围第1至3项中任一项之真空涂覆机，其中该室外壁具有一修改之表面区段，以一切口或一凹部之形式，用于与该中介板接触。 |
