晶圆片操作手臂吸附机构改良

主权项

一种晶圆片操作手臂吸附机构改良，该吸附机构为类似一C形的板体，于吸附机构内设有导气管路，板体顶面设有复数个吸附口，其特点是该吸附机构的各吸附口为较大孔径之单一气孔并接合一亦具有单一气孔之吸盘。如申请专利范围第1项所述晶圆片操作手臂吸附机构改良，其中之气孔上半部形成一鸠尾状之结合槽用以接合吸盘。如申请专利范围第1项所述晶圆片操作手臂吸附机构改良，其中之吸盘为软质，具有弹性的材质制成，且其盘面为较薄软形态。如申请专利范围第1项所述晶圆片操作手臂吸附机构改良，其中之气孔上半部设为较大孔径之垂直凹槽部，以黏合方式接合吸盘底部。