发明名称 | 中和器 | ||
摘要 | 本发明以低成本且高维护性的构成提供一种中和器,即使电极热膨胀也不会变形及破损。该中和器具有丝极、使电流流过该丝极的一对电极、及在绝缘状态下支承一对电极的基座,其中,该中和器构成为具有如下的保持装置:将一对电极和基座在相对位置至少在一方向上可以变动的状态下保持。 | ||
申请公布号 | CN1946870B | 申请公布日期 | 2010.09.01 |
申请号 | CN200580013030.5 | 申请日期 | 2005.01.24 |
申请人 | 株式会社昭和真空 | 发明人 | 小室弘之;泷本昌行;布施丰;阿部辰弥;青名端一仁 |
分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 田军锋;王爱华 |
主权项 | 一种中和器,其具有丝极、使电流流过该丝极的一对电极、及在绝缘状态下支承该一对电极的基座,其特征在于,该中和器具有将该一对电极和该基座在相对位置至少在一方向上能够变动的状态下保持的保持装置,所述一方向是与该一对电极的电极间距离方向垂直的方向,所述保持装置由固定装置及定位装置构成,该固定装置将该一对电极在各该电极的至少一个部位固定在该基座上,该定位装置将该一对电极在各电极的至少一个部位相对于该基座定位,且该一对电极和该基座的相对位置至少在一方向上能够变动,所述固定装置由第一插通固定件构成,所述定位装置由设于该一对电极上的一对第一孔、设于该基座上的一对第二孔及至少贯通该第一孔的第二插通固定件构成,该第一或第二孔的形状和该第二插通固定件的外周侧面形状具有不同的形状,该第一或第二孔的面积比该第二插通固定件的被该基座面切断的截面积大。 | ||
地址 | 日本神奈川县 |