用包含四面体碳涂层的多层结构涂覆的基底

摘要

本发明涉及至少部分涂覆有多层结构的金属基底(11)。多层结构包括沉积于所述基底(11)上的中间层(14)和沉积于所述中间层上的四面体碳层(16)。该中间层包括至少一层杨氏模量低于200GPa的无定形碳层，并且四面体碳层具有高于200GPa的杨氏模量。本发明还涉及一种改善四面体碳层对基底的附着的方法以及涉及弥合金属基底的杨氏模量和沉积于所述金属基底上的四面体碳涂层的杨氏模量之间差距的方法。

主权项

至少部分涂覆有多层结构的金属基底，所述多层结构包括沉积于所述基底上的中间层和沉积于所述中间层上的四面体碳层，所述中间层包含至少一层杨氏模量低于200GPa的无定形碳层，所述四面体碳层是非氢化四面体碳层并具有高于200GPa的杨氏模量。