| 发明名称 |
DEVICE FOR THE TEMPERATURE CONTROL OF THE SURFACE TEMPERATURES OF SUBSTRATES IN A CVD REACTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2155926(B1) |
申请公布日期 |
2010.09.01 |
| 申请号 |
EP20080760431 |
申请日期 |
2008.06.03 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
FRANKEN, WALTER;KAEPPELER, JOHANNES |
| 分类号 |
C23C16/458;C23C16/46;C30B25/10;C30B25/16 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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