| 发明名称 |
DISPLACEMENT DEVICE WITH PRECISION POSITION MEASUREMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20100096097(A) |
申请公布日期 |
2010.09.01 |
| 申请号 |
KR20107010881 |
申请日期 |
2008.10.17 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
FRISSEN PETRUS C. M.;KLAVER RENATUS G. |
| 分类号 |
H01L21/68;G01D5/38;G03F7/20 |
主分类号 |
H01L21/68 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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